Tubi tal-fibra tal-karbonju rinforzati

Gwarniċi tal-Metroloġija tal-Fibra tal-Karbonju Ultra-Preċiżjoni

Soluzzjoni ta 'stabbiltà tas-sub-mikronIddisinjat għall-magni tal-kejl tal-koordinati (CMMs) u l-istadji tal-litografija, it-tubi tal-karbonju bbażati fuq il-pitch tagħna jiksbu 0. Is-sigriet jinsab fi:

Avvanz tax-xjenza materjali

Arkitettura tal-fibra: Fibri tal-pitch mesophase K13D2U (93% rendiment tal-karbonizzazzjoni)

In-nisġa ibrida: 1k nisġa sempliċi + 12 k ud rinforz assjali

Addittiv tad-damping: 2% partiċelli viskoelastiċi b'saff limitat

Metriċi tal-Prestazzjoni Kritika

Studju tal-Każ: Allinjament tas-SemikondutturiInstallat fl-istadji tal-maskra tal-EUV fil-fab 2nm ta 'TSMC:

Żbalji mnaqqsa ta 'overlay minn {{0}}. 22nm sa 0.07nm

Attivat 98.7% rendiment tal-wejfer vs 93.4% bi gwidi taċ-ċeramika

22% titjib tal-ħin taċ-ċiklu permezz ta 'kumpens termiku mnaqqas

Kompatibilità tal-kamra nadifa

Outgassing: 0. 003% TML (NASA ASTM E595 konformi)

Emissjoni tal-Partiċelli:<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)

Protezzjoni ESD: 10⁶ -10 ⁹ ω reżistività tal-wiċċ

Protokoll ta 'manutenzjoni

Annwali li terġa 'tinkiteb b'profilene tal-etilene fluworinat (FEP)

Kalibrazzjoni tal-Interferometru tal-Laser kull 5, 000 sigħat

10- Garanzija ta 'Stabbiltà Dimensjonali tas-Sena

It-tags Popolari: Tubi tal-fibra tal-karbonju rinforzati, fornituri, manifatturi, fabbrika, personalizzati, bl-ingrossa, prezz, kwotazzjoni, kampjun b'xejn